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超热蒸汽温度虽高，但像空气一样，遇到消毒物品时不能凝成水，不能释放潜热，所以对灭菌不利。

防止超热的办法是使用外源蒸汽灭菌时，不要使夹层的温度高于消毒室的温度，两者应相近，不要使压力过高的蒸汽进入消毒室内，吸水物品灭菌前不应过分干燥。

高压灭菌器灭菌时不要用压力高的蒸汽加热到要求温度，然后再降压力。